标准号: GB/T 13387-2009
标准名称: 硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法
英文名称:Test method for measuring flat length wafers of silicon and other electronic materials
标准状态:现行
发布日期: 2009-10-30
实施日期: 2010-06-01
出版语种:中文简体
替代标准:GB/T 13387-1992
引用标准:GB/T 2828.1,GB/T 14264
提出部门:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会