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北检(北京)检测技术研究院(简称：北检院)，依托科研测试与材料检测重点领域，结合“211工程”和“985工程”建设，面向学校和社会企业开放的仪器共享机构和跨学科检测交叉融合平台。面向企业及科研单位跨学科研究、面向社会公共服务，构建具有装备优势、人才优势和服务优势的综合科研检测服务平台。 了解更多 +
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检测标准

GB/T 13388-2009 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法

发布时间：2023-01-30 22:25:15 点击数：
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标准号： GB/T 13388-2009

标准名称： 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法

英文名称：Method for measuring crystallographic orientation of flats on single-crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques

标准状态：现行

发布日期： 2009-10-30

实施日期： 2010-06-01

出版语种：中文简体

替代标准：GB/T 13388-1992

引用标准：GB/T 1555,GB/T 2828.1,GB/T 12964,GB/T 12965,GB/T 14264,ASTM E82,DIN 50433.3

提出部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

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