激光干涉法实验

信息概要

激光干涉法是一种高精度的光学测量技术，广泛应用于工业、科研和精密制造领域。该技术通过测量激光干涉条纹的变化来检测物体的表面形貌、位移、振动等参数，具有非接触、高分辨率和高灵敏度的特点。检测的重要性在于确保产品质量、提升制造精度以及满足行业标准要求，尤其在精密光学元件、半导体设备和航空航天部件等领域至关重要。通过激光干涉法检测，可以有效识别产品缺陷、优化生产工艺并降低后续使用风险。

检测项目

表面粗糙度, 平面度, 平行度, 垂直度, 曲率半径, 厚度均匀性, 折射率均匀性, 波前畸变, 光学元件面形误差, 振动频率, 位移精度, 角度偏差, 线性度, 涂层均匀性, 材料应力分布, 热膨胀系数, 光学透过率, 反射率, 散射特性, 偏振特性

检测范围

光学透镜, 棱镜, 反射镜, 激光器窗口片, 光纤连接器, 半导体晶圆, 薄膜涂层, 精密机械零件, 航空航天部件, 汽车传感器, 医疗光学设备, 望远镜镜片, 显微镜物镜, 投影仪镜头, 摄像头模组, 激光雷达组件, 光刻机光学系统, 太阳能电池板, 显示面板, 光学滤波器

检测方法

菲索干涉法：通过比较参考光与被测光的光程差检测表面形貌。

泰曼-格林干涉法：利用分束镜生成干涉条纹测量光学元件性能。

马赫-曾德尔干涉法：适用于气体或液体折射率变化的检测。

共光路干涉法：减少环境振动对测量结果的影响。

相位偏移干涉法：通过相位变化提高测量精度。

白光干涉法：用于非连续表面或透明材料的检测。

动态干涉法：实时监测振动或快速变化的位移。

数字全息干涉法：结合计算机技术实现三维形貌重建。

剪切干涉法：检测波前畸变或光学系统像差。

多波长干涉法：解决相位模糊问题，扩展测量范围。

偏振干涉法：用于各向异性材料的特性分析。

低相干干涉法：适用于高散射或粗糙表面检测。

外差干涉法：通过频率调制提高信号抗干扰能力。

激光多普勒干涉法：测量振动或微小位移速度。

散斑干涉法：用于变形或应变分布检测。

检测仪器

激光干涉仪, 平面干涉仪, 球面干涉仪, 斐索干涉仪, 泰曼-格林干涉仪, 马赫-曾德尔干涉仪, 白光干涉仪, 相位偏移干涉仪, 数字全息显微镜, 剪切干涉仪, 多波长干涉仪, 偏振干涉仪, 低相干干涉仪, 外差激光干涉仪, 激光多普勒测振仪

北检院部分仪器展示