原子力显微镜粗糙度检测

信息概要

原子力显微镜（AFM）粗糙度检测是一种高精度的表面形貌分析技术，通过探针与样品表面的相互作用力，实现对纳米级表面粗糙度的精确测量。该检测广泛应用于材料科学、半导体、生物医学等领域，对于产品质量控制、工艺优化及研发创新具有重要意义。准确的粗糙度数据能够帮助客户评估材料性能、改进生产工艺，并确保产品符合行业标准。

检测项目

表面粗糙度（Ra）, 均方根粗糙度（Rq）, 最大峰高（Rp）, 最大谷深（Rv）, 轮廓最大高度（Rz）, 平均波长（λa）, 轮廓算术平均偏差（Rda）, 轮廓微观不平度（Rsm）, 轮廓偏斜度（Rsk）, 轮廓陡度（Rku）, 表面形貌三维重建, 局部斜率分布, 表面功率谱密度, 自相关函数分析, 表面分形维数, 表面波纹度, 纳米级划痕检测, 表面粘附力分布, 表面弹性模量分布, 表面电荷分布

检测范围

半导体晶圆, 光学薄膜, 金属涂层, 聚合物材料, 陶瓷材料, 生物材料, 纳米复合材料, 石墨烯薄膜, 磁性材料, 光伏材料, 微电子器件, MEMS器件, 医疗器械表面, 汽车涂层, 航空航天材料, 印刷电路板, 玻璃表面, 纤维材料, 涂料涂层, 润滑薄膜

检测方法

接触模式AFM：通过探针直接接触样品表面，获取高分辨率形貌数据。

轻敲模式AFM：探针以共振频率振动，减少对样品的损伤，适合柔软材料。

非接触模式AFM：探针与样品保持距离，通过范德华力检测表面形貌。

相位成像AFM：通过探针振动相位变化分析材料表面力学性质。

力调制AFM：测量表面局部弹性模量及粘附力分布。

导电AFM：同时获取表面形貌和导电性信息。

磁力AFM：用于磁性材料表面磁畴结构的检测。

静电力AFM：分析表面静电荷分布及电势。

热学AFM：测量表面局部热导率及温度分布。

高速AFM：实现动态过程的高时间分辨率观测。

液体环境AFM：在液体中检测生物样品或溶液环境下的材料表面。

三维形貌重建：通过多角度扫描生成表面三维模型。

纳米压痕测试：结合AFM探针进行纳米级力学性能测试。

表面能谱分析：结合能谱仪分析表面化学成分。

动态力谱分析：研究分子间相互作用力及键合特性。

检测仪器

原子力显微镜（AFM）, 扫描探针显微镜（SPM）, 导电原子力显微镜（CAFM）, 磁力原子力显微镜（MFM）, 静电力原子力显微镜（EFM）, 热学原子力显微镜（ThAFM）, 高速原子力显微镜（HS-AFM）, 液体环境原子力显微镜, 纳米压痕仪, 表面轮廓仪, 白光干涉仪, 激光共聚焦显微镜, 扫描电子显微镜（SEM）, 透射电子显微镜（TEM）, X射线衍射仪（XRD）

北检院部分仪器展示