ISO 463光学干涉法基准比对

信息概要

ISO 463光学干涉法基准比对是一种高精度的光学测量技术，主要用于评估光学元件的表面形貌、平整度以及微观结构特征。该技术通过干涉条纹分析，能够实现纳米级精度的测量，广泛应用于光学制造、半导体、精密仪器等领域。检测的重要性在于确保光学元件的性能和质量，避免因表面缺陷或形变导致的光学系统性能下降，同时满足国际标准要求，提升产品的可靠性和市场竞争力。

检测项目

表面粗糙度, 平面度, 曲率半径, 波纹度, 局部斜率误差, 表面缺陷, 反射率, 透射率, 光学均匀性, 折射率, 厚度偏差, 平行度, 垂直度, 光洁度, 面形误差, 波前畸变, 散射特性, 偏振特性, 涂层均匀性, 热稳定性

检测范围

光学透镜, 棱镜, 反射镜, 滤光片, 分光镜, 窗口片, 激光镜片, 偏振片, 波片, 光纤端面, 光学镀膜, 半导体晶圆, 光学平板, 球面镜, 非球面镜, 自由曲面光学元件, 微透镜阵列, 衍射光学元件, 光学窗口, 光学棱镜组

检测方法

ISO 463光学干涉法：通过干涉条纹分析表面形貌和光学性能。

白光干涉法：利用白光干涉测量表面微观结构。

激光干涉法：采用激光光源进行高精度波前测量。

相位偏移干涉法：通过相位偏移技术提高测量精度。

动态干涉法：用于测量动态表面变化或振动。

共焦干涉法：结合共焦显微镜技术实现三维表面测量。

斐索干涉法：用于测量光学元件的平面度和面形误差。

泰曼-格林干涉法：适用于透明光学元件的均匀性检测。

迈克尔逊干涉法：用于测量光学路径差和折射率。

散射光干涉法：分析表面散射特性。

偏振干涉法：测量光学元件的偏振特性。

数字全息干涉法：通过数字全息技术实现快速测量。

低相干干涉法：用于测量多层结构的厚度和均匀性。

红外干涉法：适用于红外光学元件的检测。

紫外干涉法：用于紫外波段光学元件的性能评估。

检测仪器

激光干涉仪, 白光干涉仪, 斐索干涉仪, 泰曼-格林干涉仪, 迈克尔逊干涉仪, 相位偏移干涉仪, 数字全息显微镜, 共焦显微镜, 光学轮廓仪, 散射光测量仪, 偏振干涉仪, 红外干涉仪, 紫外干涉仪, 波前传感器, 光学镀膜测厚仪

北检院部分仪器展示