小孔流导法放气率计算

信息概要

小孔流导法放气率计算是一种用于测量材料或部件在真空环境中放气特性的重要技术，广泛应用于电子、航空航天、半导体等领域。该检测方法通过精确计算气体通过小孔的流量，评估材料的放气率，从而确保产品在真空环境中的稳定性和可靠性。检测的重要性在于，放气率过高可能导致真空系统污染、性能下降甚至失效，因此通过专业检测可有效控制产品质量，满足行业标准和要求。

检测项目

放气率, 气体渗透率, 真空度, 气体成分分析, 漏率, 材料表面吸附气体量, 气体扩散系数, 温度依赖性, 压力依赖性, 材料孔隙率, 气体溶解度, 气体解吸率, 材料表面粗糙度, 气体吸附速率, 气体解吸速率, 材料热稳定性, 气体渗透压, 材料化学稳定性, 气体流动速率, 真空密封性

检测范围

半导体材料, 真空密封件, 电子元件, 光学涂层, 金属材料, 高分子材料, 陶瓷材料, 复合材料, 真空泵部件, 航天器材料, 真空管道, 真空阀门, 真空腔体, 真空镀膜材料, 真空隔热材料, 真空传感器, 真空过滤器, 真空吸附材料, 真空包装材料, 真空电子器件

检测方法

小孔流导法：通过测量气体通过小孔的流量计算放气率。

质谱分析法：用于分析放气气体成分。

压力衰减法：通过测量压力变化计算放气率。

热脱附法：通过加热材料释放吸附气体并测量其量。

气相色谱法：用于分离和鉴定气体成分。

四极质谱法：高精度分析气体成分和浓度。

静态升压法：在封闭系统中测量压力上升速率。

动态流量法：通过控制气体流量测量放气率。

真空重量法：测量材料在真空中的重量变化。

红外光谱法：用于分析气体分子结构。

激光吸收光谱法：高灵敏度测量气体浓度。

残余气体分析：分析真空系统中的残余气体。

气体渗透法：测量气体通过材料的渗透率。

表面吸附法：测量材料表面吸附气体量。

气体解吸法：测量材料释放气体的速率。

检测仪器

质谱仪, 气相色谱仪, 四极质谱仪, 红外光谱仪, 激光吸收光谱仪, 真空计, 压力传感器, 流量计, 热脱附仪, 静态升压装置, 动态流量装置, 真空重量仪, 气体渗透仪, 表面吸附仪, 气体解吸仪

北检院部分仪器展示