白光干涉仪微变形检测

信息概要

白光干涉仪微变形检测是一种高精度的非接触式测量技术，广泛应用于材料科学、微电子、光学元件等领域。该技术通过分析干涉条纹的变化，能够精确测量样品表面的微米级甚至纳米级形变，为产品质量控制、工艺优化和失效分析提供关键数据。检测的重要性在于其高分辨率、高灵敏度和无损特性，可确保产品在研发和生产过程中的可靠性和稳定性，尤其适用于精密器件和高端材料的质量评估。

检测项目

表面粗糙度, 平面度, 台阶高度, 曲率半径, 三维形貌, 薄膜厚度, 残余应力, 弹性模量, 热膨胀系数, 微裂纹检测, 划痕深度, 翘曲度, 纳米压痕, 表面波纹度, 接触角, 粘附力, 摩擦系数, 磨损量, 微观硬度, 材料均匀性

检测范围

半导体晶圆, 光学透镜, MEMS器件, 精密模具, 金属薄膜, 陶瓷基板, 聚合物材料, 复合材料, 涂层材料, 纳米材料, 生物医学植入物, 微流体器件, 太阳能电池, 液晶面板, 光纤器件, 电子封装, 磁性材料, 超硬材料, 柔性电子, 航空航天材料

检测方法

白光垂直扫描干涉法：通过垂直移动样品或干涉物镜，获取表面形貌信息。

相位偏移干涉法：利用相位变化计算表面微变形。

动态干涉法：适用于测量动态或瞬态形变。

多波长干涉法：通过不同波长的光消除测量 ambiguity。

共焦干涉法：结合共焦显微镜提高纵向分辨率。

数字全息干涉法：利用数字全息技术重建三维形貌。

偏振干涉法：适用于各向异性材料的测量。

低相干干涉法：减少噪声干扰，提高信噪比。

频域干涉法：通过频域分析提高测量速度。

时域干涉法：适用于瞬态或快速变化的形变测量。

剪切干涉法：测量表面斜率或梯度变化。

散斑干涉法：利用激光散斑分析表面位移。

纳米级干涉法：专门针对纳米级形变的测量。

全场干涉法：一次性获取整个视场的形变数据。

静态干涉法：适用于稳态或缓慢变化的形变测量。

检测仪器

白光干涉仪, 激光干涉仪, 共焦显微镜, 原子力显微镜, 扫描电子显微镜, 光学轮廓仪, 纳米压痕仪, 表面粗糙度仪, 椭偏仪, 拉曼光谱仪, X射线衍射仪, 红外热像仪, 超声波测厚仪, 电子散斑干涉仪, 显微硬度计

北检院部分仪器展示