能谱仪成分检测是一种通过分析材料中的元素组成及其分布的高精度检测技术,广泛应用于材料科学、环境监测、电子制造、冶金化工等领域。该技术通过测量样品受激发后释放的特征X射线能量,确定元素的种类和含量,具有快速、无损、高灵敏度等特点。检测的重要性在于确保材料性能符合标准,优化生产工艺,保障产品质量,同时为科研提供可靠数据支持。
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能量色散X射线光谱法(EDX):通过测量样品受激发后释放的特征X射线能量进行元素分析。
波长色散X射线光谱法(WDX):利用分光晶体对特定波长的X射线进行高分辨率检测。
X射线荧光光谱法(XRF):通过测量样品受X射线激发后产生的荧光X射线进行元素分析。
电子探针微区分析(EPMA):结合电子显微镜和能谱仪对微小区域进行成分分析。
俄歇电子能谱法(AES):通过测量俄歇电子能量分析表面元素组成。
X射线光电子能谱法(XPS):利用光电子能谱分析材料表面化学成分。
二次离子质谱法(SIMS):通过溅射产生的二次离子进行深度剖面分析。
质子激发X射线发射分析(PIXE):利用质子束激发样品产生特征X射线。
中子活化分析(NAA):通过中子辐照后测量放射性核素进行元素分析。
激光诱导击穿光谱法(LIBS):利用激光等离子体发射光谱进行快速成分检测。
电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS):高灵敏度检测痕量元素的方法。
原子吸收光谱法(AAS):通过测量特定波长光的吸收进行元素定量分析。
原子发射光谱法(AES):利用原子受激后发射的特征光谱进行元素分析。
X射线衍射法(XRD):通过衍射图谱分析材料的晶体结构和成分。
傅里叶变换红外光谱法(FTIR):通过分子振动光谱分析有机成分。
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