小孔流导法放气率计算实验

信息概要

小孔流导法放气率计算实验是一种用于测量材料或部件在真空环境下放气特性的重要方法，广泛应用于电子、航天、半导体等高精尖领域。该实验通过模拟真空环境，精确计算材料表面或内部的放气率，为产品质量控制和工艺优化提供关键数据。检测的重要性在于确保材料在真空环境中的稳定性，避免因放气导致设备性能下降或失效，尤其对航天器、真空镀膜设备等高端应用场景至关重要。

检测项目

放气率，气体成分分析，真空度，材料表面吸附气体量，温度稳定性，压力变化率，气体渗透率，材料孔隙率，气体扩散系数，真空密封性，材料热稳定性，气体解吸速率，真空环境适应性，材料表面粗糙度，气体吸附等温线，真空系统泄漏率，材料放气动力学，气体溶解度，真空泵抽速，材料放气总量

检测范围

半导体材料，真空镀膜材料，航天器部件，电子元器件，光学涂层，真空密封件，高分子材料，金属合金，陶瓷材料，复合材料，真空管道，真空阀门，真空泵，低温材料，高温材料，真空传感器，真空腔体，真空吸附材料，真空绝缘材料，真空包装材料

检测方法

小孔流导法：通过测量气体通过小孔的流量计算放气率。

质谱分析法：用于鉴定放气气体成分。

压力上升法：通过监测密闭系统压力变化计算放气率。

热脱附谱法：分析材料在不同温度下的气体释放特性。

四极质谱法：高灵敏度检测微量气体成分。

气相色谱法：分离和定量分析气体混合物。

静态升压法：测量系统压力随时间的变化。

动态流量法：在恒定流量下测量放气特性。

差压法：通过压差测量计算气体流量。

吸附等温线法：研究材料对气体的吸附特性。

渗透率测量法：测定气体通过材料的渗透率。

真空重量法：测量材料在真空中的质量变化。

残余气体分析：鉴定真空系统中的残余气体。

温度程序脱附：研究温度对气体释放的影响。

激光干涉法：高精度测量气体释放引起的形变。

检测仪器

四极质谱仪，气相色谱仪，真空计，热脱附谱仪，渗透率测试仪，真空系统，压力传感器，流量计，温度控制器，吸附分析仪，差压计，激光干涉仪，真空泵，残余气体分析仪，真空室

北检院部分仪器展示