纳米级激光干涉测量

信息概要

纳米级激光干涉测量是一种高精度的测量技术，利用激光干涉原理实现对纳米级尺寸、形貌和表面特性的精确检测。该技术广泛应用于精密制造、光学元件、半导体等领域，能够确保产品质量和性能符合严格标准。检测的重要性在于其能够识别微观缺陷、评估材料均匀性、验证加工精度，从而提升产品可靠性和使用寿命，满足工业与科研的高精度需求。

检测项目

表面粗糙度, 平面度误差, 波长精度, 折射率均匀性, 厚度偏差, 角度偏差, 线性位移精度, 非线性误差, 光斑质量, 波前畸变, 涂层均匀性, 材料热膨胀系数, 振动稳定性, 环境温度影响, 湿度敏感性, 光学透过率, 反射率偏差, 偏振特性, 相位一致性, 激光功率稳定性

检测范围

光学透镜, 激光反射镜, 半导体晶圆, 精密轴承, 微机电系统, 纳米薄膜, 光纤器件, 光栅尺, 棱镜组件, 激光谐振腔, 精密导轨, 压电陶瓷, 超光滑表面, 衍射光学元件, 干涉滤光片, 晶体材料, 金属镀层, 聚合物薄膜, 微纳结构, 光学窗口

检测方法

相位偏移干涉法：通过相位变化分析表面形貌和光学特性。

白光干涉术：利用宽带光源测量纳米级高度差和粗糙度。

动态干涉测量：实时监测振动或运动状态下的表面变化。

共焦干涉法：结合共焦显微镜提升纵向分辨率。

偏振干涉术：检测材料双折射或偏振相关特性。

多波长干涉法：消除相位模糊，扩展测量范围。

外差干涉测量：通过频率差提高位移检测灵敏度。

数字全息干涉：重建三维形貌并分析动态变形。

低相干干涉术：适用于多层结构的厚度测量。

飞秒激光干涉：用于超快过程或高精度时间分辨测量。

剪切干涉法：检测波前畸变或梯度变化。

光谱干涉术：结合光谱分析实现多维参数检测。

扫描干涉测量：通过逐点扫描获取高分辨率数据。

自适应光学干涉：校正大气或环境扰动的影响。

量子干涉技术：利用量子特性突破经典测量极限。

检测仪器

激光干涉仪, 白光干涉仪, 斐索干涉仪, 迈克尔逊干涉仪, 马赫-曾德尔干涉仪, 泰曼-格林干涉仪, 相移干涉仪, 外差激光干涉仪, 共焦显微镜干涉系统, 数字全息显微镜, 低相干扫描干涉仪, 飞秒激光测量系统, 光谱干涉仪, 纳米级轮廓仪, 动态光学干涉平台

北检院部分仪器展示