短路芯片光发射显微镜（EMMI） 热点定位

信息概要

短路芯片光发射显微镜（EMMI）热点定位是一种先进的故障分析技术，用于检测集成电路中的短路、漏电等缺陷。通过捕捉芯片在通电状态下产生的微弱光子信号，EMMI能够精确定位故障点，为芯片修复和优化提供关键数据。该检测服务在半导体制造、电子设备研发和质量控制中具有重要意义，可显著提高产品可靠性和良率，降低生产成本。

检测项目

热点定位精度,漏电流检测,短路故障分析,发光强度测量,波长范围分析,噪声水平评估,信号稳定性测试,热分布监测,电压依赖性测试,电流依赖性测试,时间分辨率分析,空间分辨率测试,灵敏度校准,背景噪声抑制,信号信噪比评估,故障点成像清晰度,光子计数效率,设备重复性测试,环境光干扰评估,长期稳定性验证

检测范围

CMOS集成电路,存储器芯片,逻辑器件,模拟芯片,射频芯片,功率器件,传感器芯片,MEMS器件,光电二极管,晶体管阵列,FPGA芯片,ASIC芯片,微处理器,数字信号处理器,电源管理IC,LED驱动芯片,显示驱动IC,通信芯片,汽车电子芯片,人工智能加速器

检测方法

光子发射显微成像：通过高灵敏度相机捕捉芯片发光信号

光谱分析：对发射光进行波长分布测量以识别故障类型

时间分辨成像：分析光子发射随时间变化的特性

电压扫描测试：在不同偏置电压下观察热点变化

电流依赖性测量：分析发光强度与电流的关系

热成像辅助定位：结合红外热像仪进行温度相关性分析

暗场成像技术：提高微弱信号的检测灵敏度

噪声抑制处理：采用数字信号处理降低背景干扰

多帧叠加技术：通过图像叠加提高信噪比

像素校准方法：确保成像系统的几何精度

灵敏度标定：使用标准光源进行设备性能验证

故障模式识别：基于机器学习算法自动分类缺陷类型

三维定位技术：结合聚焦深度信息实现立体定位

环境光屏蔽：在暗室条件下进行测试减少干扰

动态范围优化：调整曝光参数适应不同强度信号

检测仪器

光发射显微镜系统,低温恒温器,高灵敏度CCD相机,光谱分析仪,精密探针台,参数分析仪,数字示波器,激光扫描显微镜,红外热像仪,光子计数器,暗箱测试环境,精密电源供应器,信号放大器,图像处理工作站,温控测试平台

北检院部分仪器展示