高斯滤波表面轮廓厚度分离

信息概要

检测项目

表面粗糙度（评估表面微观不平度的关键参数），波纹度（分析表面中频段的轮廓偏差），厚度均匀性（检测材料各区域的厚度一致性），轮廓峰高度（测量轮廓最高点到基准线的距离），轮廓谷深度（测量轮廓最低点到基准线的距离），轮廓算术平均偏差（表征表面轮廓的总体粗糙程度），轮廓最大高度（轮廓最高点与最低点的垂直距离），轮廓支承长度率（评估表面耐磨性能的指标），轮廓偏斜度（描述轮廓高度分布的不对称性），轮廓陡度（反映轮廓高度分布的尖锐程度），轮廓波长（分析表面周期性特征的参数），轮廓滤波截断波长（确定滤波分离的临界波长），轮廓功率谱密度（评估表面轮廓的频率特性），轮廓自相关函数（分析表面轮廓的重复性特征），轮廓均方根斜率（描述轮廓变化的平均陡峭程度），轮廓均方根曲率（反映轮廓局部弯曲程度的指标），轮廓峰密度（单位长度内的轮廓峰数量），轮廓峰曲率半径（评估轮廓峰顶的尖锐程度），轮廓谷曲率半径（评估轮廓谷底的平坦程度），轮廓支承指数（表征表面承载能力的参数），轮廓核心粗糙度深度（反映轮廓核心区域的粗糙程度），轮廓微观不平度（分析表面极小尺度的不规则性），轮廓宏观不平度（评估表面大尺度的形状偏差），轮廓滤波分离误差（检测滤波算法的精度），轮廓厚度偏差（实际厚度与设计厚度的差异），轮廓厚度变化率（厚度沿检测路径的变化程度），轮廓厚度极差（最大与最小厚度的差值），轮廓厚度标准差（厚度分布的离散程度），轮廓厚度偏析（材料厚度分布的不均匀性），轮廓厚度趋势（厚度沿检测路径的整体变化趋势）。

检测范围

金属板材，塑料薄膜，光学镜片，半导体晶圆，陶瓷基板，玻璃面板，橡胶垫片，复合材料，涂层材料，印刷电路板，电池隔膜，纤维织物，精密齿轮，轴承滚道，液压密封件，汽车钣金，航空航天结构件，医疗器械，电子封装材料，光伏薄膜，液晶显示屏，磁性材料，纳米薄膜，高分子材料，金属镀层，橡胶轮胎，塑料管材，纸张材料，陶瓷涂层，金属箔材。

检测方法

接触式轮廓仪法（通过机械探针直接测量表面轮廓）。

非接触式光学轮廓仪法（利用光学干涉或共聚焦原理测量轮廓）。

白光干涉法（通过白光干涉条纹分析表面形貌）。

激光扫描法（使用激光束扫描表面获取轮廓数据）。

原子力显微镜法（纳米级表面形貌的高精度测量）。

扫描电子显微镜法（结合图像分析评估表面轮廓）。

共聚焦显微镜法（通过光学切片技术重建表面轮廓）。

相位偏移干涉法（利用相位信息提高轮廓测量精度）。

数字全息法（通过全息成像技术获取三维轮廓）。

频域光学相干断层扫描法（分析表面轮廓的深度信息）。

激光三角测量法（基于三角原理的非接触轮廓测量）。

超声波测厚法（通过超声波反射测量材料厚度）。

涡流测厚法（利用涡流效应评估导电材料厚度）。

X射线测厚法（通过X射线透射或反射测量厚度）。

磁感应测厚法（基于磁感应原理的非破坏性厚度检测）。

电容测厚法（通过电容变化评估材料厚度）。

红外测厚法（利用红外光谱分析厚度分布）。

拉曼光谱法（结合光谱特征评估材料厚度）。

太赫兹成像法（通过太赫兹波分析表面轮廓和厚度）。

机械剖面法（通过切割和显微镜观察测量轮廓）。

检测方法

接触式轮廓仪，非接触式光学轮廓仪，白光干涉仪，激光扫描仪，原子力显微镜，扫描电子显微镜，共聚焦显微镜，相位偏移干涉仪，数字全息显微镜，频域光学相干断层扫描仪，激光三角测量仪，超声波测厚仪，涡流测厚仪，X射线测厚仪，磁感应测厚仪。

北检院部分仪器展示